株式会社パテント・リザルトは12月11日、「半導体製造装置業界」の特許を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2024」を発表しました。
この調査は、2023年4月1日から2024年3月31日までに登録された特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いて評価されました。企業ごとの総合得点を集計した結果、以下のようなランキングが発表されました：
ランキングトップ3
- 東京エレクトロン
- APPLIED MATERIALS（米）
- ディスコ
各社の注目特許
1位：東京エレクトロン
東京エレクトロンの注目特許には以下のような技術が含まれます：
- 「安定して電極へ給電可能な基板支持体用の給電機構」
- 大阪大学と共同保有の「光増感効果を利用したリソグラフィプロセス用の光増感化学増幅レジストシミュレーション」
2位：APPLIED MATERIALS
APPLIED MATERIALSの注目特許：
- 「基板の温度と処理ガスの均一性を改善するための化学気相堆積（CVD）装置」
- 「顕微鏡で拡大した組織サンプルの関心領域を効率的に取得・格納できる組織サンプル分析用の画像化システム」
3位：ディスコ
ディスコの注目特許：
- 「表裏面から容易に観察できる被検査物の検査装置」
- 「外周面取り部の欠けやクラックを防止する半導体ウェーハの加工方法」
その他注目企業
ランキング4位と5位には以下の企業がランクインしました：
- 4位：ＳＣＲＥＥＮホールディングス – 「チャンバ内の温度環境を安定させる処理を行い、基板処理の均一性を高める基板処理装置」
- 5位：SEMES – 「超臨界状態の乾燥用流体による効率的な基板乾燥処理装置」
